| … tak mladezi prestante stebetat, pekne se srovnejte at vas stacker muze nasazet do FOUPu jak se patri. Ja s vami budu ve stejnem FOUPu, jsem cislo 25, tak prijdu na radu posledni. Dneska budou dve zastavky, napred medeny povlak ECP (ten prijde na vcerejsi barrier seed z PVD) a potom nam tu medenou perinu zase seberou na CMP a nechaji ji jenom v tech malickych drazkach, ktere nam vcera vyleptali do vrstvy vzacneho isolantu na etch stroji. Pri potahovani medi bude horko a elektricky; na tom CMP ted vymysleli novou technologii, rikaji ji Ecmp, tak na prvnim stole vas taky trochu polechtaji elektrikou, zbyle dva stoly budou porad tradicne chemicky – mechanicke obrusovani a lesteni. Ale ze ted mame ten superspesl isolant, tak se na nas nesmeji ani moc prisne podivat a cele brouseni je jenom takove polechtavani, uz to neni jako driv, kdy nektere slabsi povahy kvilely pod vysokym tlakem a z nej plynoucich trecich sil.
Hlavni dnesni atrakce je CMP, tak se pripravte na cestu domem hruzy. Ma tri sekce.
Prvni je FI, to je fab interface. Tam vladne japonsky robot Kawasaki. Napred na vas mrkne cervenym laserovym okem a spocte si kolik vas ve FOUPu je. Potom vas jednu po druhe vytahne z FOUPu a prostrci vas skrz i-MAP. Nez se stal sefem FI Kawasaki, vladnul tam PRI bez i-MAPu pevnou prisavkovou pazi. Nechaval ale stopy, tak robot Kawasaki vas jenom jemne chytne za okraj. Skrz i-MAP to taky neboli, jenom vas trochu polechta eddy curent, zmeri vam tloustku medi a pak vas Kawasaki ulozi do pass-through stanice.
Tam si jenom chvilenku nastojato oddechnete a uz si pro vas sahne dalsi Kawasaki. Tenhle visi hlavou dolu v mokrem tunelu a nejezdi jako FI Kawasaki sem tam. Tunelovy kral Wet Robot vas ulozi na wafer exchanger v polisher a jizda zacne. Polisher je sice druhy v poradi jizdy, ale geograficky je az vzadu. To kvuli spravnemu air balancing, aby se na vas po umyti neusazovaly castice. Jak vylezete z posledniho modulu cisticky, tak musite supem zpatky do FOUPu, proto je mycka Desica bliz k FI nez Polisher.
Na wafer exchanger se ani moc neohrejete a hned zase pujdete, mechanismus hvizdne rychly pulkruh, povoli celisti a posadi vas celem dolu do loadcup. Jemne vas zespoda podebere pedestal a shora se vam na zadek pricucne pyrelenem pokryta silikonova membrana lestici hlavy. Zona, ktera je koncentricka k vasemu obvodu se natlakuje, ty dve zony uvnitr obvodu se vcucnou vakuuem a hlava si vas drzi jako zachodovym zvonem. Takt stroje postoupi, centralni kriz pootoci cvrt kola a uz jste nad prvnim brusnym stolem.
To je ten famozni elektricky vynalez. Namisto pravekeho brouseni je o neco mene praveka obracena galvanizace. Stul ma trochu zvyseny okraj a dirkovaty povlak, aby se elektrolyt pekne drzel uvnitr a odstredivou silou neodletel ven. Jak dosednete, zmacknete specialni kulicky a skrz centralni mechanismus, kterej zarucuje dodavku elektrolytu a taky funguje jako anoda natece nova davka elektrolytu. Povlak stolu - pad je rozdelenej na tri zony. Protoze uz jste zmereny i-MAPem hlavni server uz vas ma v evidenci a nadeli vam spravne napeti, abyste vylezli s peknou rovnomernou vrstvickou medi tlustou tak 150 angstromu. Na dodavku sedi pod stolem c.1 par krabic, kde se elektrolyt presne micha a davkuje a jedna krabice vzadu, ktera vsechny ingredience prijima zvenku a rozdeluje uvnitr stroje.
Druhej a treti stul jsou jako po staru, hlava vas membranou pekne primackne na pad, prituli se k vam rameno a zacne dorucovat brusnou tekutinu – mix chemie a brusnych castic. Treti stul je nejrychlejsi, med uz by mela zmizet jenom vam dolesti barrier seed a zarovnaji vsechny topografie. Nez dosednete, tak po pad smejdi sem tam pad conditioner. Toho se nebojte, jenom diamantovym prachem srovnava pad, abyste meli pekne rovnou podlozku.
Po tretim stole jste zase zpatky v loadcup, hlava vcucne vnejsi zonu, natlakuje vnitrni zony a odloupne vas jako upecenou palacinku. Pak vas jeste pekne ve wafer echganger osprchujou od te nejhorsi spiny a uz po vas zase saha Wet Robot. Protahne vas tunelem a vrzne vas do input station mycky Desica.
Tam si muzete chvili posedet, podle toho jaky je provoz v samotne mycce pred vami. Ta ma 3 cistici, jeden susici a dva wafer handling moduly. Mezi nima vas dopravi running beam s dvojitou naberackou. Uz jste cim dal tim cistejsi, tak je v celem procesovacim prostoru minimalni pocet pohyblivych casti. Kdyz se neco hejbe, vetsinou se to tre a trenim vznikaji u lidi neplechy a maly lidi, u oplatek castice. A kdyz je moc castic, tak z vas po rozrezani musi pulku vyhodit, protoze zapraseny cipy spatne hrajou. Proto uz vas running beam nechyta ze stran do klesti jako driv, ale pekne si vas podhrabne a vyzvedne z myci lazne. Ty prvni tri jsou porad stejny.
Prvni je asi nejmin prijemna, to je ten megasonic tank. Ma to kazdej jinak nastaveny, ale urcite je voda horka a pak s ni zacnou megasonickejma vlnama vibrovat az vam budou drncet vsechny vrstvy a transistory. Jeste s vama k tomu toci dokola. Kdyz technici spatne nakalibrujou vsechny roboty a neusadi vas to spravne do modulu, taky se muze stat, ze tim tocenim a presazovanim ztratite rovnovahu a spadnete nekam kam nemate. Obcas se nekdo rozlame, nebudu vam lhat.
V brush box 1 a 2 uz to tak hrozny neni, toci s vama sice dokola, ale zaroven vas mejou peknejma mekkejma zinkama. Akorat to mejdlo muze bejt obcas dost neprijemny, slysela jsem, ze nekde pouzivaji i kyselinu florovodikovou.
Pak vas ususi. To taky bejvalo divoky, roztocili vas na dva tacy tocek a svitili heat-lampou. Mala chybka a jsou z vas strepy. Tedka to vychytali s nejakym Marangonim, napred vas potopi do vodni lazne a jak z ni pomalu vyjizdite tak na vas strikaji alkyhol s dusikem. Vyjedete uplne suchy a bez skvrnek, ze by hospodynka mela radost.
Pak si moment odfrknete na unload stanici a uz vas zase lapne FI Kawasaki Robot a strci vas zpatky do FOUP.
Meli bysme vsechny bejt hotovy tak za 40 minut, tak se pripravte, konec vybavovani a nez nas budou po CMP merit, tak se zase sejdeme dohromady.
|
|
|
Komentáře chronologicky (15)
|
|
|
|
